“光源吗……”王向中闻言,也是陷入了思索当中。
的确是如林坚博士说的那般,照明系统,也就是光源,才是真正制约光刻水平发展的关键因素,其它的事情都能想办法取巧,无论是浸润式光刻,亦或是衍射光栅,它都是基于现有光源条件下的改良法。
而高压汞灯的365nm光波波长就决定了,它不可能制作出100nm以下制程的CPU,具有非常严重的时代局限性。
现在国际上最尖端的ArF光刻机所采用的DUV光源波长已经下降到了193纳米,从理论数值来计算,它最高可将分辨率提升到65nm,也就是目前全球最先进光刻工艺的极限。
现在用i线光刻机,还用高压汞灯这一套,不可能斗得过他们。
“您说得有道理,不过也未必,也许华夏今后几年就能跟上,把深紫外线照明系统给研究到位呢?”王向中半开玩笑道。
林坚闻言也是摇了摇头,道:“深紫外线照明没有这么简单。我看你们的资料,目前你们还在研究气压对成像系统的影响研究,不要怪我讲话难听,这种技术也就只能用于g线和i线光刻机上。”
“DUV深紫外线,也就是波长低于350纳米的电磁波,是用不到这项研究的,”他补充道:“尤其是VUV真空紫外(波长低于350纳米的电磁波)技术,只能在真空环境下使用,所以和气压毫无关系,这个你明白吧?”
“明白。”王向中闻言也是叹了一口气,要不是因为没有其它办法,谁会愿意一直把目光聚焦于i线光刻机的改良啊?
“我听陈正他讲过,你们在研究光刻机改良,所以才把我从阿美瑞肯叫了回来,让我帮你的忙,不过现在看来,华夏距离先进还差得很远哦。”林坚摇头道。
这话倒不是在嘲讽华夏的落后,这林坚博士所说的的确是事实,华夏想要真正自主制造出光刻机,还有很长的一段路要走。
不过在理论研究和实验研究上,此时的华夏可还一点儿都不输给西方国家!
“林博士您多虑了,其实华夏研究工作还是很到位的,最首先——华夏还是具有制造深紫外线激光器的能力的,至少在实验室中有这个能力。”王向中笑道。
“实验室里能造出来的意义不大啊,”林坚倒是对这个说法感到并不意外,在实验室不计成本地做一套零部件,以华夏的能力还是可以的,“只要不能量产,再厉害的技术也只是纸上谈兵而已。”
“没关系,路都是一步一步走出来的嘛,”王向中倒是很乐观,“我们改进康尼的光刻机肯定是用不到换光源模块了,如果要用得着这玩意的话,就必须开始独立自主制造光刻机了。”
“啥?”林坚听得眼睛都快发直了,“你说话怎么这么靠北哦,还独立自主制造光刻机,目前能把一块镜片做好都不错了。”
王向中听到林坚的质疑也是乐了,显然对方还没理解过来自己的最终愿望和目的所在,于是便避开了这个话题,道:“您看,除了光源以外,咱们还有什么可以改进的地方吗?”
林坚闻言也是摇了摇头,道:“这台NSR-1010G已经是康尼80年代的淘汰产品了,说实话,我都没想过它的潜力能开发到这个地步,我想大概是没有什么改进的必要了,还不如买新的设备。”
“好吧……”王向中也没想到,林坚居然有些瞧不起这堆宝贝——尽管在对方看来,是一堆破铜烂铁,不过在当下这个节骨眼上,华夏也就这些东西可以用了,自从前年瓦森纳协议一签之后,华夏就再也没进口过任何高精尖产品。
“不过我还是想请教您一个问题,假如说,我真的想自主研发一款DUV接近式光刻机,那我应该先做什么?”他神情严肃,目光中闪烁着前所未有的认真神色。
林坚本来想回应一句先做梦,不过在看到对方那满是认真神色的光芒后,也是愣了片刻,旋即轻轻叹了一口气,道:“如果真的要做光刻机的话,我的建议是先找激光器、镜头和光刻胶这三个突破口,有了这三个东西以后,其它的电机和机械结构之类的东西,做起来比较更容易一些。”
“好,如果还有问题的话,我再找您吧。”王向中回答道。
……
深夜。
陈正一行人也是确定了行程,这几天由牛玉鹏带领他们去附近的苏市和杭市转一转,领略一番华夏的风景,而李东则留在厂里,和财务、法务共同商讨拟定股份转让问题。
王向中躺在床上,翻来覆去地总是觉得有些睡不着。
他有点摸不清接下来要走的路,林坚博士看不上这些80年代的康尼光刻机,也就意味着自己无法留下对方这种人才,也就得不到浸润式光刻技术的核心技术参数了。
但现在一没有工业基础,二没有钱,1998年想要通过互联网或机械工业搞个几十亿,基本是不大可能的。
有什么办法能让自己搞到钱的同时,还能提前把芯片制造这件事给往前推呢?
即便是王向中,躺在床上苦思冥想了很久,也最终不得其神。
他叹了一口气,看了看一旁的手机。上辈子自己还是个中年人的时候,晚上也经常睡不着,就会打开智能手机听会歌。
但现在的手机,连个显示屏都没有,相比智能手机的差距实在是太大了,想要听歌还只能买一套CD播放器,说实话CD播放器都不一定买得到,搞不好还只能买个磁带播放器。
等等,智能手机?
王向中灵感突现,自己为什么不把智能手机给提前研发出来呢?
智能手机相比功能手机在外部的区别主要有两个,第一是处理器的运算能力更强,第二就是有配套的操作系统以及软件生态。
如果想要发展一块合格的商业芯片的话,那芯片所配套的商品,也同时必须流行起来。
就好像英厂和微程一般,英厂的崛起离不开它的X86架构,而X86架构的崛起离不开Windows操作系统,或者说Q厂和布谷公司一般,Q厂的崛起离不开ARM架构,而ARM架构正是布谷公司旗下机器人操作系统给硬生生带起来的。
在此之前,ARM架构的芯片只在嵌入式和工业设备上有所发展。
要知道其实光刻机制造和研发是不赚钱的,光刻胶也不赚钱,镜头更不赚钱,西方国家之所以热衷于把这几项核心科技牢牢掌握在手里,为的就是保住它的最终成品——芯片的垄断权。
如果自己能利用现在晶华0.5微米制程的这些光刻机设备,做一个EDA软件,然后利用EDA软件设计一款独属于华夏的CPU架构,然后再借此芯片制造一款智能手机,通过自己掌握的思想和理念,迅速占领市场,那资金和名气不就都有了吗?
到时候,自己的智能手机坐稳江山,连带着芯片一起赚了钱,还能带着软件一起赚钱,这简直是和自己目前想法完全一致的商品!
一想到这,王向中也是有些坐不住了,也是立马坐起了身来,打开台灯,开始谋划起来……
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