帝国重器

    
    技术路线既然确认，那么接下来就是如何将其实现了。
    王中军作为实验室的负责人，并不需要事无巨细的全面参与进去，更多的还是掌握方向和协调与督促进度。
    想通过原子力显微镜来刻画光栅，最大的拦路虎看来就是硅探针的问题了。
    既然要求是100纳米分辨率的光栅，那么探针的针尖应该至少在50纳米。
    所谓光栅，其实就是一排透明和不透明交替的宽度相等的玻璃片。它的分辨率，就是一组透明和不透明交替刻痕的总宽度。如果这一组的宽度是100纳米，那么不透明刻痕的宽度就应该是50纳米。
    想划出一条50纳米宽的刻痕，当然就需要50纳米细的针尖了。
    “我们所有的要求都集中在这跟探针上面，我们的刻痕是50纳米，但我们的分辨率却不能只有50纳米。”
    王中军顶着一头有些散乱的头发，充血的眼睛看起来像是有些睡眠不足，但说话的声音却是中气十足。
    他用一支笔，指着幕布上的投影，接着给实验室里的其他研究员布置任务：：“探针材质必须是硅，我们的检材不会是绝对平滑，所以必须确保探针断裂也不会对材料造成污染。”
    “它的形状应该是一个梯形，针尖是50纳米宽的平面，也就是500个硅原子的宽度。”
    王中军想了想，补充了一句：“之前我认为用针尖直接敲击材料，这个思路是不合适的。硅敲击硅，我们无法保证探针上的硅完整性，也就是说敲击的宽度是不可预测的。所以直接敲击材料不合适，我们还需要用探针去除光刻胶，最后通过蚀刻和离子注入来实现光栅。”
    “那么我们现在需要解决的就是三个问题，敲击探针、定位探针，以及满足各向异性的蚀刻。”
    “敲击探针……老钟，这个就由你来负责。技术上基于硅的特性，可以先尝试单晶硅生长法。”
    “定位探针我来做，这个暂时还没有什么思路。”
    “蚀刻和离子注入，我考虑采用干法刻蚀技术，相关的刻蚀机和PVD设备应用与改造……这个我们实验室无法单独完成，秦释你来与相关其他实验室进行对接。”
    “咱们实验室分三组，一组跟老钟，一组跟我，秦释你暂时先带一个研究生去做协调工作。”
    ……
    王中军临危不乱，实验室也就有了主心骨。虽然要跨越式发展技术必然会面临巨大的困难，但一想到这个科研项目背后的意义，所有人的内心中都充满了必须倾力而为的使命感。
    钟大华是个老研究员了，从光机所借调到新科之后，虽然没有什么特别突出的贡献，但他经手的每一个实验项目都从来没有出错过。
    这五六年里，新科不仅为他涨了工资，而且还帮他把在长春的家人接过来安排了工作又解决了孩子上学的问题，最近又刚刚给他分配了一套一百二十平米的房子。
    这样的待遇比起社会上那些做生意、做官的，可以说并没有差上多少了。
    “嗯，具体的工作不能多说，不过最近两个月我可能会比较忙。”
    钟大华拉开资料室机房的房门，脖子上夹着手机有些歉然的说道：“你和孩子说，他的生日等我回去了再补上吧，生日礼物随他挑。你生活上如果有什么麻烦，可以去找黄姐，组织上总帮得上忙的。”
    “多的我就不说了，放心，我会注意身体的，保证每天都会电话报平安……你也是，一定别太累了，别总跟儿子生气，我小时候也跟他一样，长大了说不定就开窍知道学习了……”
    “行了，我去忙，先不说了。”
    “啧啧，老钟你这妥妥的三好男人啊，‘保证每天都会电话报平安’，哈哈，嫂子管的这么严的嘛？”
    跟着钟大华一起走进来吴牧是个年轻人，看他的样子就知道是无家一身轻。
    “你个光棍汉，懂个啥？怎么是管的严，明明是她没我不行！“
    “你可拉倒吧，我又不是没看过你跪搓衣板的样子。”
    说着话，吴牧还拍了拍自己胸前抱着的包袱，嘻嘻笑道：“你看咱，铺盖卷在哪家就在哪，别提多自在了！”
    “今天我就要在资料室打地铺，先加他一个星期的班！”
    说笑归说笑，进入工作状态之后，钟大华和吴牧都是非常认真的性格。然而在工作了一段时间之后，却突然发现——他们的计算机，竟然连不上美国的数据库了。
    “怎么回事，我们连接不上美国的公开数据库了？”U9电子书
    “等一下，我搜搜其他领域的内容。”
    钟大华想了想，又随手搜了一个生物学的关键词，搜索结果迅速的出现在了屏幕上面。
    “我给网管打个电话，问问是不是咱们的问题。”吴牧抓起身边的座机，打了个内部号码。
    “喂，网络中心吗？对，我半导体所的，什么？你们也接到了大量的反馈，怀疑是美国的数据库对半导体类的资料锁了中国的IP？这不可能吧，这不符合学术精神啊……”
    “好吧，我知道了，有消息请你们尽快通知一下。”
    吴牧有些目瞪口呆的看向钟大华，不可置信的说道：“网络中心说，目前看来可能是半导体类数据库锁了中国IP，禁止了我们的账号访问。”
    钟大华虽然早有猜测，但显然对此也是一付见了鬼的样子。封锁公开的文献数据库，这也太挑战现行学术体系了吧。
    “美国人是急了啊，我知道会有这一天，但没想到会来的这么快。”
    “我们在半导体领域对美国人威胁太大了，兔子皮披不住啦！”吴牧坐回位置上，想了想撇嘴道：“最近的局势这么紧张，说到底还不是我们和美国在半导体领域竞争造成的。”
    钟大华眉头紧皱，声音低沉的说道：“封锁IP最多让我们麻烦点，其实起不到什么真正的作用。但这件事看的不是实际效果，而是象征意义。如今学界还是美国人领头，人家要制裁我们，我们就得像伊拉克一样受着。”
    “凭什么受着？”
    吴牧反而跳了起来，哼道：“我就不信，没有张屠户就得吃带毛猪啦？没了美国人的数据库，我们一样能把项目做好！封锁，最好封锁个十年、二十年，到时候我们什么都有了！”
    吴牧在资料室里跳脚，钟大华却并没有多说什么，反而转头开始继续工作。只是他敲击键盘的力度，明显也上升了很多。
    工作总是做不完的，没有美国数据库也还有中文数据库和欧洲数据库，甚至很快一些其他国家的公司还找上门来，提供起代查询业务来。
    只是正如钟大华所说，这就是个恶心人的态度，只要其他国家还能查询美国数据库，那封锁就毫无意义。甚至连提供代查询业务的公司都赚不了几个钱，因为只要在中国之外有一台能连接其他国家学术机构的电脑，就能登陆美国数据库。这样毫无门槛的业务，也就提不起什么价格了。
    但这对于此时资料室里的钟大华和吴牧来说，并不能让他们的屈辱感少上多少。
    “老钟，我突然有一个想法。”
    晚上十一点半，吴牧突然从显示器前抬起头来，顶着两个黑眼圈，愣愣的说道。
    “我们得回去，回去原来的路线上。”
    “什么？”钟大华也愣了一下，不明所以：“什么原来的路线？湿法蚀刻？”
    “对，湿法蚀刻。”
    吴牧重重的点了点头：“你还记得，我们采用湿法蚀刻的时候，最大的麻烦是什么吗？”
    “最大的麻烦，湿法蚀刻的各向同性吧，这会造成刻痕很容易就失去精度。”
    “对，各向同性。”
    各向同性，也就是腐蚀剂在侵蚀材料的过程中，不会因为方向不同而有所变化。向下侵蚀的同时，腐蚀剂也会向左右侵蚀。在蚀刻中如果各向异性太好，就会发生把光刻胶遮挡的部分，从左右两侧给侵蚀掉的问题。本来不需要侵蚀的部分也会被侵蚀，自然精度就无法保证了。
    吴牧说到这里，忽然眼睛里多出了一丝神采：“但是你还记得，我们湿法蚀刻如果失败了，最终被光刻胶遮挡的部分，会形成什么样的形状吗？”
    响鼓不用重锤，钟大华的脑海里迅速回想起自己经历过的那些失败实验。
    各向同性的腐蚀剂向左右侵蚀，最终会在侧面侵蚀出一个坡型，就像一个小水洼一样。
    想象一下如果一条光刻胶下面左右有两个“小水洼”，那它们的中间位置不就是一个针尖了吗？
    吴牧兴奋的说道：“如果我们用氢氟酸和硝酸来腐蚀单晶硅，因为这种腐蚀剂的腐蚀速度可以用配比来控制，所以我们就可以通过配比和时间控制，来得到我们希望得到的针尖宽度了！”
    “这！”
    钟大华呼吸顿时急促起来，他的预感中这应该会是一条可行的路线！
    “只是，为了确定腐蚀剂的配比和精确的时间，我们恐怕要大海捞针了！”